أساليب الميتاهيرستيك لحل مشكلة جدولة العمل في منطقة نشر أشباه الموصلات

الملخص. استنادًا إلى دراسة حالة واقعية لشركة أشباه الموصلات، تتناول الورقة مشكلة الجدولة في منطقة النشر، والتي تُعتبر واحدة من أكثر المراحل حيوية في تصنيع أشباه الموصلات. يمكن نمذجة منطقة العمل هذه كمشكلة جدولة معملية هجينة من مرحلتين مع تدفقات إعادة الدخول. المرحلة الأولى هي عملية التنظيف، حيث يتم إزالة الشوائب من سطح الرقاقة. وتتضمن الثانية عدة مهام، مثل النشر، والترسيب، والأكسدة، التي يجب تنفيذها في أفران مختلفة. بناءً على وصف المنتج، قد تخضع دفعات الرقائق لعمليات متعددة في المرحلة الثانية. كما تتضمن منطقة النشر عدة قيود إنتاجية، مثل التجميع، وملاءمة الآلات، وقيد الوقت Q، مما يزيد من تعقيد المشكلة. يتم اقتراح خوارزمية ميتاهيرستيك جديدة تسمى خوارزمية البحث عن التناغم المعدلة لتقليل متوسط وقت التدفق في النظام.