تداخل هولوجرافي متعدد الأطياف بدون عدسة للفحص البصري

نستكشف مبادئ وتفاصيل التنفيذ وخصائص الأداء لمستشعر هولوجرافي رقمي متعدد الأطياف بدون عدسة ونظهر إمكانياته لضمان الجودة في تصنيع أشباه الموصلات. تعتمد الطريقة على التقاط الهولوجرامات الرقمية متعددة الأطياف، والتي تُستخدم لاحقًا لتقييم شكل كائن اختبار عاكس. يسمح بإعداد مدمج يلبي المطالب العالية المتعلقة بالمتانة ضد الاهتزازات الميكانيكية، وبالتالي يتغلب على القيود المرتبطة بأجهزة الفحص البصري التقليدية القائمة على تداخل الضوء الأبيض بالعدسات. بالإضافة إلى ذلك، تعزز مصدر الليزر القابل للتعديل من مرونة النظام وتتيح التكيف مع خصائص عينات مختلفة. تظهر النتائج التجريبية المستندة إلى عينة اختبار شريحة فعالية الطريقة. الدقة المحورية للمستشعر هي ±2.5 نانومتر، وهو ما يتوافق مع 1σ.