Key points are not available for this paper at this time.
في هذا العمل نقدم عدة تطويرات للعدسات الفريدة ذات خطأ موجة الجبهة المنعكسة المحددة (RWE) بقيمة λ/10 (63 نانومتر P.V) قبل التعرض لليزر ذي طاقة 200 كيلوواط لمدة لا تقل عن 40 ثانية عند 1064 نانومتر، وكذلك أثناء التعرض. تم ترسيب طلاء عازل ذي انعكاس عالي (HR) بسمك 10 ميكرومتر على ركيزة من السيليكا المنصهرة بقطر 400 مم. تم تحقيق تجانس الطلاء بنسبة 0.4٪، وهو ما يعادل 40 نانومتر P.V RWE. لتعويض خطأ RWE الناتج عن طلاء HR المتوتر، تم ترسيب طلاء فريد مضاد للانعكاس (AR) على الجهة الخلفية مما أدى إلى أن يكون مجموع RWE أقل من λ/10 (63 نانومتر P.V). أسفرت عملية حرارية بعد الترسيب عن انزياح أحمر طيفي بنسبة 1.2٪، وتقليل الامتصاص من 20 جزء في المليون إلى 3 أجزاء في المليون، وعدم حدوث أي تغيير في RWE. في حالة ثانية، تم تعريض مرآة ثنائية اللون بقطر 130 مم مع تسامح صارم يحدد انزياح الطيف الأحمر المقبول بعد المعالجة الحرارية، لعملية ذات درجة حرارة منخفضة، مما يقلل الامتصاص من ~25 جزء في المليون إلى 6 أجزاء في المليون. في حالة ثالثة، تم مناقشة مرآة مسح (R>99.995٪) مع مادة ركيزة عالية الصلابة (ماصة) وقياس RWE ل λ/10 أثناء التعرض لليزر بقوة 72 كيلو وات/سم² لمدة 40 ثانية. الكلمات مفتاحية: تفريغ شعاع الأيونات، عتبة تلف الليزر، طلاء عالي الانعكاس، طلاء مضاد للانعكاس، توتر.
درس كاسيس وآخرون (مون،) هذا السؤال.