Key points are not available for this paper at this time.
نصفّ محولًا لميكروسكوب القوة الذرية في درجات الحرارة المنخفضة يعتمد على الاقتران الكهروميكانيكي بسبب الحث الحركي المعتمد على الإجهاد في سلك نانوي فائقي التوصيل. إن حساس القوة هو لوحة مثلثية مرنة (معلق) يتم قياس انحرافها عبر تغير في تردد الرنين لجهاز رنان ميكرووي فائقي الجودة عند 4.5 جيجاهرتز. نقدم محاكاة التصميم بما في ذلك النمذجة الميكانيكية بواسطة العناصر المحدودة لإجهاد السطح والمحاكاة الكهرومغناطيسية لأسلاك نانوية متعرجة ذات حث حركي كبير. نناقش نموذج العناصر المجتمعة لحساس القوة ونصف دور حث إضافي لتعديل الاقتران مع خط النقل المستخدم لقياس رنين الميكرووي. يتم تقديم وصف تفصيلي لعملية التصنيع لدينا، بما في ذلك معلومات حول معلمات العملية المستخدمة لكل طبقة. كما نناقش تصنيع رؤوس حادة على العنصر المعلق باستخدام ترسيب سبائك البلاتين المستحث بواسطة شعاع إلكتروني مركز. أخيرًا، نقدم قياسات تصف انتشار تردد الرنين الميكانيكي، واعتماد درجة الحرارة على رنين الميكرووي، وتشغيل الحساس كمحول كهروميكانيكي للقوة.
درس رُوس وآخرون (خميس) هذا السؤال.