تجربة الكشف عن أضرار التعب في السيليكون أحادي البلورة باستخدام صمام شوتكي

كان الغرض من هذه الدراسة هو كشف أضرار التعب في السيليكون أحادي البلورة تحت تحميل دوري باستخدام صمام شوتكي. تم تصنيع جهتي تلامس شوتكي وأوهيميك لفيلم رقيق من الذهب على السيليكون من النوع n بعد قطع ركيزة السيليكون الموجهة (211) إلى عينة بشكل مستطيل بحجم 6 مم × 29 مم باستخدام منشار التقطيع. تم إجراء اختبار التعب التواء تحت ظروف درجة حرارة مسيطر عليه تبلغ 25 درجة مئوية ورطوبة نسبية 80% في غرفة بيئية لتسريع تراكم الأضرار. مقارنةً بخصائص I-V للصمام قبل وبعد اختبار التعب، تم تأكيد زيادة في التيار المتسرب. تم أيضًا ملاحظة العديد من الخطوط المتباينة حول أقطاب شوتكي باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح. من هذه النتائج، تم الاقتراح بأن الزيادات في التيار المتسرب تنبع من عيوب بلورية في السيليكون.