Key points are not available for this paper at this time.
تم دراسة تدفق الطاقة الذي تقدمه بلازما تردد الراديو إلى ركيزة معدنية بواسطة طريقة حرارية مع مسبار حراري. من خلال تغيير جهد الركيزة، يمكن تحديد تأثير الطاقة الحركية لحاملي الشحنة على الطاقة الحرارية. يمكن تفسير تدفق الطاقة المقاس لبلازما الأرجون بشكل رئيسي بواسطة الأيونات، الإلكترونات، وإعادة تركيبهم. في حالة بلازما الأكسجين، حيث يكون تدفق الطاقة في ظل ظروف مشابهة أعلى بنحو 50٪، يجب أيضاً أخذ آليات النقل الأخرى مثل التجميع المعزز على السطح واسترخاء الحالات الدورانية الاهتزازية في الاعتبار.
درس كيرستن وآخرون (Sat,) هذا السؤال.