تصنيع موجّهات Si/SiO₂ ذات فقدان منخفض جداً من خلال تقليل الخشونة

نوضح فقدان نقل قدره 0.8-dB/cm لموجّه ضيق وحيدة الوضعية Si/SiO(2) بأبعاد مقطع عرضي دون الميكرومتر. نقارن بين طريقة تصنيع الموجّهات التقليدية واثنتين من تقنيات التنعيم التي طورناها، وهما التنعيم بالأكسدة والحفر غير المتجانس. نلاحظ تقليلاً كبيراً في خشونة الجدران الجانبية باستخدام تقنيات التنعيم لدينا، مما يؤدي بشكل مباشر إلى تقليل خسائر التشتت. الزيادة السريعة في خسائر التشتت مع تصغير أبعاد الموجّه، كما هو مُلاحظ في الموجّهات المُصنّعة تقليدياً، تم قمعها بشكل فعال في الموجّهات المُصنّعة بتقنيات التنعيم لدينا. في حالة التنعيم بالأكسدة، يتم تقليل الخسارة من 32 dB/cm لطريقة التصنيع التقليدية إلى 0.8 dB/cm لعرض الموجّه ضيق الوضعية 0.5 ميكرون. هذه هي أدنى خسارة مُبلغ عنها ضمن نظام ذو فرق كبير في المؤشر مثل موجّه Si/SiO(2) ضيق.