Key points are not available for this paper at this time.
تم تحضير العوازل الأكسيدية المنقسمة بالكربون والتي تتكون من السيليكون والكربون والأكسجين والهيدروجين (SiCOH) بواسطة الترسيب الكيميائي بالبخار المعزز بالبلازما (PECVD) من خليط من التترا ميثيل سيكلو تيترا سيلوكسان (TMCTS) ومادة سابقة عضوية. تم فحص الأفلام من خلال تحديد تركيبها العنصري وبواسطة مطيافية الأشعة تحت الحمراء لتحويل فورييه مع تفكيك قمم الامتصاص. أظهر التحليل أن PECVD من TMCTS ينتج فيلم SiCOH ذو شبكة مرتبطة بشكل عالٍ. يبدو أن التحلل لـ TMCTS يهيمن على كيمياء الترسيب كما يتضح من تعدد بيئات الترابط وتكوين السلاسل الخطية والفروع. يحدث تشابك كبير في حلقات TMCTS عبر وحدات Si–Si و Si–CH2–Si و Si–O–Si و Si–CH2–O–Si. الأفلام المودعة من خليط TMCTS والمواد السابقة العضوية تتضمن قطع هيدروكربونية في الأفلام. يتم هذا الإدماج على الأرجح من خلال تفاعل المادة السابقة العضوية مع روابط Si–H لـ TMCTS. تؤدي معالجة أفلام SiCOH المودعة من TMCTS والمادة السابقة العضوية إلى فقدان كبير للكربون والهيدروجين من الأفلام نتيجة لتفتيت وفقدان المكون العضوي المدمج. يُظهر تفكيك نطاق الشد غير المتماثل لـ Si–O–Si للأفلام المعالجة وجود نسبة أكبر من هيكل قفصي ونسبة أصغر تقابلاً لهيكل شبكي (مرتبط بشكل كبير) في أفلام SiCOH المودعة من خليط TMCTS مع المادة السابقة العضوية مقارنة بالأفلام المودعة من TMCTS فقط. تؤدي تطورات قطع الهيدروكربون المتطايرة أثناء المعالجة إلى تشكيل نانو مسامات والتقليل اللاحق من الثوابت العازلة للأفلام إلى قيم منخفضة للغاية.
درس جريل وآخرون (الجمعة) هذا السؤال.