Key points are not available for this paper at this time.
قد تسبب أنظمة التثبيت الميكانيكية للرقائق مشاكل خطيرة في صناعة أشباه الموصلات. قد يكون التعامل مع الرقائق باستخدام الكهرباء السكونية أحد الحلول الممكنة لهذه المشاكل. قام المؤلفون بالتحقيق في القوة الجذابة على شريحة سيليكون باستخدام مشبك كهربائي سكوني يتكون من أقطاب متداخلة وطبقة رقيقة عازلة. تزداد القوة الجذابة الكهربائية السكونية مع زيادة الجهد المطبق، ومع استخدام طبقة عازلة أرق. مع عرض ومسافة الأقطاب المتداخلة الأضيق، يتم الحصول على قوة كهربائية سكونية أقوى. عند استخدام أقطاب متداخلة بعرض ومسافة 1 مم وطبقة بوليمر بسماكة 50 ميكرون، كانت أقوى قوة تم الحصول عليها حوالي 17 نيوتن في الاتجاه العمودي عند 3.5 كيلوفولت، لشريحة سيليكون قياس 4 بوصات. عند استخدام جهد عالي مستمر، تبقى بعض القوة المتبقية، حتى بعد إزالة الجهد المطبق. تم التغلب على ذلك باستخدام جهد عالي متناوب بتردد متغير.
دراسة أسانو وآخرون (الأربعاء) هذا السؤال.