Key points are not available for this paper at this time.
تتطلب العديد من تطبيقات الموجات فوق الصوتية المستخدمة في الاستشعار والتشغيل والتصوير محولات ومصفوفات محولات صغيرة ومنخفضة الطاقة متكاملة مع أنظمة إلكترونية. تعتبر محولات الموجات فوق الصوتية المجهرية الكهروضغطية (PMUTs)، التي تشبه الحجاب الرقيق، حلاً محتملاً لمصفوفات المحولات المتكاملة. تقدم هذه الورقة لمحة عامة عن حالة التطور الحالية لمحول PMUT ونقاش حول ملاءمتها للأجهزة المصغرة والمتكاملة. يتم مناقشة المواد الكهروضغطية اللازمة لتفعيل هذه الأجهزة، يليها تقنيات الميكروفابريكشن المستخدمة لإنشاء عناصر PMUT والقيود التي تفرضها الصناعة على تصميم الأجهزة. يتم مناقشة أساليب الربط الكهربائي والتكامل مع الإلكترونيات المدمجة. كما يتم تقديم قياسات كهربائية وصوتية لمصفوفات PMUT المصنعة التي تحتوي على ما يصل إلى 320 عنصر حجاب. تم إظهار أن محولات PMUT هي أجهزة عريضة النطاق بتردد تشغيل يمكن تعديله من خلال ضبط الأبعاد الجانبية للغشاء المرن أو سماكات الطبقات المكونة. أخيرًا، يتم مناقشة آفاق التطوير المستقبلي لتقنية PMUT والتطبيقات المحتملة التي أصبحت ممكنة من خلال الأجهزة المتكاملة PMUT.
قام Qiu وآخرون (Fri,) بدراسة هذا السؤال.
Synapse has enriched 5 closely related papers on similar clinical questions. Consider them for comparative context: