Key points are not available for this paper at this time.
تمت 개발 تقنية معالجة تقوم بمحاذاة الميزات على وجه الرقاقة الأمامي مع تلك الموجودة على الجهة الخلفية لها من أجل الميكرو machining الضخمة. يتم استخدام غشاء مربع 30 ميكرومتر وسمكه 1.6 ميكرومتر كنمط محاذاة. في نفس الوقت الذي يتم فيه صنع غشاء المحاذاة، يمكن أن يتم نقش الغشاءات الكبيرة والسميكة جزئيًا باستخدام أنماط قناع "شبكي" في هذه المناطق. تستفيد تقنية القناع الشبكي من اختلافات معدل النقش بين
قام كيم وآخرون (الاثنين) بدراسة هذا السؤال.