المحوّلات فوق الصوتية الدقيقة السعوية للتصوير والعلاج الطبي

تمت دراسة المحولات فوق الصوتية الدقيقة السعوية (CMUTs) بشكل واسع على مدى العقدين الماضيين. على الرغم من أنها تم تطويرها في البداية لتطبيقات مرتبطة بالهواء، إلا أن مجال تطبيقها الرئيسي اليوم هو التصوير والعلاج الطبي. يقدم هذا البحث أولاً وصفاً موجزاً لـ CMUTs وهيكلها الأساسي ومبادئ تشغيلها. يتم مناقشة تقدمنا في تطوير عدة أجيال من عمليات التصنيع مع التركيز على المزايا والعيوب لكل عملية. يتم استعراض الطرق الأحادية والهجينة لدمج CMUTs مع الدوائر المتكاملة الداعمة. يتم وصف عدة مصفوفات من المحولات النموذجية مع دوائر إلكترونية أمامية متكاملة قمنا بتطويرها واستخدامها في التصوير التشريحي والوظيفي ثنائي الأبعاد وثلاثي الأبعاد، والعلاجات التدميرية. النتائج المقدمة تثبت أن CMUT هو تكنولوجيا MEMS للعديد من التطبيقات التشخيصية والعلاجية الطبية.