مرآة مسح ميكروية قائمة على سبيكة التيتانيوم بتردد تشغيل عالي التردد لليدار

المرآة الماسحة الميكروية هي جهاز بصري يستخدم لمسح أشعة الليزر التي يمكن استخدامها للكشف عن الضوء وتحديد المدى (ليدار) في تطبيقات مثل القيادة غير المأهولة أو الطائرات المروحية غير المأهولة. تجعل خفة وزن المرآة الماسحة MEMS وانخفاض استهلاك الطاقة منها جهازًا مفيدًا في تطبيقات الليدار. ومع ذلك، فإن الفتحة الصغيرة للمرآة الماسحة MEMS تحد من تطبيقها لأنها صغيرة جدًا لتحريف الضوء الضعيف المستلم. في هذه الورقة، نقدم مرآة مسح ميكروية قائمة على سبيكة التيتانيوم ذات فتحة كبيرة جدًا (12 مم) وتردد مسح سريع (1.24 كيلو هرتز). وصل حجم لوحة مرآة الماسحة الميكروية إلى 12 مم، وهو أكبر بكثير من مرآة المسح MEMS المألوفة. تم تصميم الماسح باستخدام طريقة تصميم MEMS وتصنيعه باستخدام طريقة التصنيع بالشرارة الكهربية. كما تظهر النتائج التجريبية، فإن التردد الرنيني للمرآة الماسحة الميكروية هو 1240 هرتز وزاوية المسح البصرية يمكن أن تصل إلى 26 درجة عند التردد الرنيني عندما يكون تيار التشغيل 250 ميلي أمبير.