Key points are not available for this paper at this time.
لقد طورنا عملية دفعة لتصنيع أجهزة استشعار القوة من السيليكون. يتكون مستشعر القوة عادةً من رأس مثبت على عارضة متصلة بقطعة معالجة. تُستخدم المستشعرات كميكروبروبس ومحولات قوة في مجاهر رسم القوة. يتم حفر مستشعراتنا من السيليكون أحادي البلورة. تتضمن العملية، التي تعتمد بشكل رئيسي على مزيج من تقنيات الحفر الرطب والجاف، إنشاء عوارض ورؤوس مناسبة كمستشعرات قوة عامة. العملية الجديدة المطورة لتصنيع الميكرو دفعة تتفوق على العملية التي تستخدم حفريات رطبة لأسلاك المعادن الفردية وتختلف اختلافًا كبيرًا عن العملية المعروفة لإنتاج عوارض رقيقة بالأفلام مع رؤوس مدمجة وبدونها. تم تطبيق المستشعرات في مجاهر مختلفة، وبأنواع مختلفة من العمليات بما في ذلك وضع القوة الطاردة، الجذابة، والمغناطيسية.
درس وولتر وآخرون (الجمعة) هذا السؤال.