Key points are not available for this paper at this time.
توضح هذه الدراسة استشعار سلالة سعوي مصنوعة بتقنية الميكرو من جميع المطاطات، مع نطاق ديناميكي عالٍ (5000:1)، وتتميز بعملية تشكيل ميكرو رخيصة. يتكون المستشعر من مكثفات مطاطية موصلة مدفونة في مادة عازلة. تم تطوير تصميمين مختلفين للمستشعر، وهما المشط الجانبي (LC) والمشط العرضي (TC)، لتقييم حساسية المستشعر كدالة لاتجاه الحمل. يحتوي كلا المستشعرين على مشط بفجوة قدرها 30 ميكرون، وطول 4 مم، وعمق 65 ميكرون. تم تطوير نموذج تحليلي مرن خطي للتنبؤ بتغير السعة كدالة للسلالة، وتظهر النتائج التجريبية توافقاً معقولاً مع التنبؤات النظرية. أظهرت استجابات السلالة عالية الخطية والنطاق الديناميكي، مع هساسية ضئيلة. دقة السلالة لمستشعري LC و TC هي 100 ميكرو سلالة و 500 ميكرو سلالة، على التوالي، تم اختبارها حتى 50% من السلالة.
درس شين وآخرون (السبت) هذا السؤال.