Key points are not available for this paper at this time.
تبين أن المخاليط الثلاثية من الماء والأمين ووكيل المعقدات قادرة على نقش السيليكون. تم التحقيق في معدل النقش على السيليكون كدالة للتغيرات في كل من معايير المحلول والمادة. كان هناك تحقيق موازٍ يتعلق بخصائص النقش على عينات السيليكون المغلفة بأفلام السيليكون dioxide. لقد زودت تطبيقات هذا النظام للنقش في تكنولوجيا أجهزة أشباه الموصلات أداة للتشكيل الكيميائي للسيليكون فضلاً عن تقييم الأفلام السطحية الواقية على ركائز السيليكون. لقد وجد أن المخاليط الثلاثية من الماء والأمينات ووكيل المعقدات تذوب السيليكون، حيث يعد الماء مكونًا ضروريًا ونشطًا في عملية النقش. من الأمور المهمة المرتبطة بهذه النقوش هو العدد الكبير من المعايير التي يعتمد عليها معدل النقش والمعدل المنخفض جداً للهجوم على السيليكا. لقد كان من الممكن نقش السيليكون إلى
درس فين وآخرون (سون) هذا السؤال.
Synapse has enriched one closely related paper. Consider it for comparative context: