التصنيع الدقيق نانو باستخدام تداخل أشعة الليزر فوق البنفسجية بالفيمتوثانية: مقياس تداخل مدمج

في هذا العرض، نقدم نهجًا جديدًا لتشكيل الأسطح باستخدام أنظمة الليزر فوق البنفسجية بالفيمتوثانية (fs). نستكشف إمكانيات هذه الأنظمة لتشكيل أنماط كبيرة المساحة على الأسطح، وخاصة في معالجة المواد ذات فرق الطاقة العالي مثل الياقوت وكربونات الألومنيوم اليتريوم (YAG). التقنيات الحالية غير مرضية من حيث معدلات الحفر والدقة، وهو ما يعالجه بحثنا. نوضح استخدام تداخل شعاعين fs-UV لإنشاء شبكات توافقيّة بدقة استثنائية. تشمل الجوانب الرئيسية التحكم في طبيعة الشعاع النبضي، وتحسين تأخير النبض والتداخل المكاني، ومقارنة تقنيات تقسيم الشعاع المختلفة. تشير نتائجنا إلى أنه يمكننا تحقيق دقة أقل من 25 نانومتر في إزالة المواد، وهو تحسين كبير مقارنة بالتقنيات الحالية. هذا البحث يعزز ليس فقط كفاءة ودقة تشكيل الأسطح ولكن أيضًا يفتح آفاقًا جديدة في تطبيقات الفوتونيات المتقدمة.