Aunque se han demostrado leyes de similitud para la ruptura en gases moleculares (por ejemplo, N2 y NF3), su aplicación a plasmas de rf en gases electronegativos sigue sin explorarse. En esta Carta, informamos sobre las similitudes de descarga en plasmas de CF4 de rf en estado estacionario a través de simulaciones cinéticas de partícula-en-celda completamente. Los resultados muestran que las descargas de rf de diferentes escalas dimensionales obedecen la ley de similitud en ambos modos: modo de estriación y modo de deriva-ambipolar, cuando se cumplen las condiciones de similitud con el factor de escalado k siendo relativamente pequeño (por ejemplo, k ⩽ 2). A medida que el factor de escalado k aumenta, las violaciones causadas por “colisiones no lineales” se vuelven importantes, y se observan desviaciones de la similitud. Se evalúan los parámetros no dimensionales, ηω y ηn, para caracterizar la formación del modo de estriación con el fin de entender las transiciones de modo bajo condiciones de descarga similares.
Yang et al. (Mon,) estudiaron esta cuestión.