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Resumen La deposición láser pulsada (PLD) en atmósferas de gas se ha utilizado para fabricar películas delgadas para diversas aplicaciones. En este estudio, se realizó PLD en diversas atmósferas de gas (helio, oxígeno y argón) utilizando tungsteno (W) para investigar la morfología de las películas delgadas. Se formaron varios tipos de estructuras, incluyendo estructuras uniformes, nanopartículas y estructuras columnares. En particular, el sustrato fabricado a una presión de argón de 100 Pa tenía una alta porosidad y una baja reflectancia de luz en el rango de longitud de onda de 200-1400 nm. Además, se demostró que el crecimiento del grosor de la película delgada era no lineal con respecto al tiempo, y que la formación de estructuras en forma de pelusa podría estar influenciada por la difusión de partículas en la fase gaseosa y en el sustrato.
Kodate et al. (Fri,) estudiaron esta cuestión.