Fabricación aditiva de metalentes de alto rendimiento, guías de onda y metamateriales a través de litografía de nanoimpresión directa

Fabricamos ópticas totalmente inorgánicas de alto índice de refracción, incluyendo metalentes, guías de onda y elementos ópticos difractivos a través de litografía de nanoimpresión con tintas de dispersión de nanopartículas de TiO2 y reportamos la fabricación de metalentes de longitud de onda visible en toda la oblea con eficiencias de enfoque absolutas superiores al 80% (>95% de eficiencia de diseño). Los montones de óxido metálico en 3-D son posibles mediante NIL directa usando estampado secuencial, planarización, ciclos de estampado seguidos de la eliminación de las capas de planarización sacrificial. Los montones de metal en 3-D son posibles mediante la metalización de plantillas sacrificiales impresas en 3-D. Se discutirán varios ejemplos.