Análisis de Vibraciones a Microsescala mediante el Método de Proyección de Fringes de Talbot1

Resumen: Este trabajo se centra en la implementación de una técnica de proyección de luz estructurada para el análisis de los modos de vibración 3D de microsamples. La imagen de Talbot de una rejilla de Ronchi se proyecta sobre la superficie de la muestra pasando a través de uno de los tubos del objetivo de un estereomicroscopio, realizando así un sistema de proyección de franjas a escala micrométrica. Un viga de cantiléver de aluminio impulsada por PZT en vibración armónica sirvió como muestra de prueba para investigar la posibilidad de obtener los modos de vibración de campo completo de micro-objetos. Se realizó un análisis de transformada de Fourier automatizado de los patrones de franjas para obtener la información del perfil temporal-resuelto de campo completo de la muestra en cada cuadro proporcionado por una cámara de alta velocidad con una resolución micrométrica. Se implementó un procedimiento sencillo para recuperar la frecuencia de resonancia para diferentes modos y amplitudes de vibración a lo largo de toda la superficie de la muestra. La gran sensibilidad y las capacidades de campo completo del procedimiento experimental propuesto permiten evidenciar diferencias entre comportamientos reales y teóricos, por lo que podría ser extremadamente útil para diseñar y probar la respuesta dinámica estructural de microestructuras y Sistemas microelectromecánicos.