Nanocable bistable para memoria micromecánica

Presentamos un dispositivo micromecánico diseñado para ser utilizado como una memoria mecánica no volátil. La estructura está compuesta por un nanocable delgado suspendido (ancho: 100 nm, grosor: 430 nm, longitud: 8 a 30 µm) sujeto en ambos extremos. Se colocan electrodos a cada lado del nanocable para (1) accionar la estructura durante el modo de escritura y borrado de datos y (2) determinar su posición mediante la medición del puente capacitivo en el modo de lectura. La estructura se patenta mediante litografía de haz de electrones sobre una capa de dióxido de silicio crecido térmicamente pre-estresada. Cuando se libera posteriormente mediante grabado por plasma, el material estresado se relaja y el haz se deforma por sí mismo a una posición de menor energía. Estos haces de Euler bistables simétricos exhiben dos deformaciones estables. Este documento presenta el proceso de microfabricación y análisis del pandeo estático de nanocables. También se discutirá el cambio de estos nanocables de una posición estable a otra por medios mecánicos o eléctricos.