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En este artículo, presentamos la fabricación y caracterización de transistores de película delgada (TFTs) basados en óxido de indio-galio-zinc (IGZO) altamente flexibles y circuitos integrados sobre un sustrato polimérico transparente y delgado. Se llevan a cabo pruebas de fiabilidad mecánica bajo condiciones de flexión hasta un radio de curvatura de 2 mm. Todos los parámetros de los TFT muestran solo una débil dependencia de la tensión mecánica. Los TFT pueden soportar una tensión de flexión de hasta 0.75% sin ningún cambio significativo en el funcionamiento del dispositivo. La fiabilidad mecánica se demuestra aún más a un nivel de integración de TFT superior mediante osciladores de anillo y chips transpondedores de 8-b operando a un radio de curvatura de 2 mm.
Tripathi et al. (Tue,) estudiaron esta cuestión.