Amplificación química positiva de resistencias ambientalmente estables: principio, química, resistencia a la contaminación y viabilidad litográfica.

Se describe nuestra nueva resistencia química positiva ambientalmente estable llamada ESCAP, que ha sido diseñada sobre la base de nuestro concepto de recocido para resistencia a la contaminación. La resistencia ESCAP consiste en un copolímero de 4-hidroxiestireno con acrilato de t-butilo y N-camforsulfoniloxinaftalimida como generador de ácido orgánico no iónico. A diferencia de otros sistemas de resistencias de amplificación química positiva, el filme de resistencia ESCAP puede calentarse por encima de su temperatura de transición vítrea de ~150 °C sin degradación térmica prematura del grupo protector, permitiendo así un buen recocido y reducción del volumen libre. Como consecuencia, la resistencia ESCAP que emplea una temperatura de pretratamiento inusualmente alta de ~150 °C absorbe N-metilpirrolidona a una tasa dramáticamente reducida y es extremadamente insensible al efecto de retardo.