Investigación de la tensión residual en estructuras de interconexión a nivel de oblea inducida por el procesamiento de obleas

La tensión residual inducida por el procesamiento de obleas en estructuras de interconexión de Cu a nivel de oblea puede tener un impacto significativo en la confiabilidad de las interconexiones de Cu. En este estudio, se desarrolló un enfoque de análisis de elementos finitos basado en la técnica de nacimiento y muerte de elementos para simular el procedimiento de procesamiento de obleas. Se obtuvo la tensión residual en las estructuras de oblea en cada paso del procesamiento. Primero se simularon los procedimientos de procesamiento de obleas para estructuras de single damascene de Cu y se verificaron los resultados con tensiones medidas por técnicas de rayos X. Después de que se verificó el modelo FEA, se estudiaron en detalle las estructuras de dual damascene de Cu. La tensión residual obtenida del FEA se utilizó para explicar el fenómeno de vacíos inducidos por tensión en la parte inferior de la vía después del procesamiento de obleas.