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Se aplican tecnologías de procesamiento en húmedo y en seco al desarrollo de rejillas de alto aspecto en SiO2. Se utilizan rejillas planas con paredes laterales casi verticales y períodos de 3000 Å como la estructura básica para generar polarizadores ultravioleta que funcionan a longitudes de onda muy por debajo de 3000 Å. Se han obtenido relaciones de extinción de 0.5 a longitudes de onda de 2400 Å. Con nuevas técnicas disponibles para generar rejillas superficiales de periodo fino, debería ser posible fabricar polarizadores planos con altas eficiencias de polarización a longitudes de onda aún más cortas.
Sonek et al. (Sun,) estudiaron esta cuestión.