X線光電子分光法における結合エネルギーの参照：拡張されたデータセットが偶発的炭素が真空レベルに整列することを確認

結合エネルギー（BE）スケールの正確な参照は、X線光電子分光法による化学分析の精度にとって不可欠です。偶発的炭素（AdC）からのC 1s C C/C-Hピークは、この目的のために最も一般的に使用され、試料の作業関数の変化に伴って数eVシフトすることが以前に示されており、したがってAdCが試料の真空レベル（VL）に整列していることを示しています。ここでは、金属、窒化物、炭化物、ホウ化物、酸化物、炭化窒化物、酸化窒化物を含む薄膜サンプル360件の大規模サンプルセットからの結果が示されています。材料システムに関係なく、AdCのC 1sピークは試料の作業関数の変化に従うことが見出され、以前の結果が完全に確認されます。いくつかの観察結果は、差動充電を正当な説明として除外しています。すべての実験的証拠は、むしろAdC/試料界面でのVL整列がシフトの源であることを指し示しています。AdCのC 1sピークをスペクトル参照として使用する場合は、試料が接地されて測定されるか、分光計から絶縁されているかに関わらず、試料の作業関数の測定が必要です。