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Thermal annealing of Nb2O5 and Ta2O5 thin films for CMOS based chemical sensors | Synapse

March 3, 2026

CMOSベースの化学センサー用Nb2O5およびTa2O5薄膜の熱アニーリング

Key Points

化学センサーは、ニオブ五酸化物およびタンタル五酸化物薄膜の熱アニーリングにより感度が増加しました。
結果は、センサーの応答時間が顕著に改善され、平均で50%以上の向上が測定されることを示しました。
分析には、さまざまな薄膜の組成にわたって評価された温度依存性の特性が含まれます。
改善の指標は初期材料特性に依存し、アニーリングプロセスの影響を強調しています。

Abstract

609

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Cite this study

Al-Falahi et al. (Sun,)はこの問題を研究しました。

synapsesocial.com/papers/69a76171c6e9836116a2f65b

Authors

F

F. Al-Falahi

C

Christopher Beale

E

Eberhard Kurth

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