リチウムニオブ酸塩クリスタル上のコプラナ波導の特性としてのマイクロ波基板

薄いSiO2バッファ層を持たないリチウムニオブ酸塩（LiNbO3）基板上の有限接地コプラナ波導（FG-CPW）を、ウェーハ上の測定を用いて実験的に特性評価しました。誘電率と特性インピーダンスは、FG-CPW法を用いて20GHzまでの較正測定から抽出されました。誘電率と特性インピーダンスが正確に抽出された後、損失正接はコンフォーマルマッピングアプローチにより得られました。XバンドにおいてもLiNbO3基板の誘電損失は無視できません。