100 GHzの帯域幅、低電圧、低損失を持つ統合O帯およびC帯シリコン・リチウムニオバテマク-ゼンダーモジュレーター

広帯域統合薄膜リチウムニオバテ（TFLN）電気光学モジュレーター（EOM）は、O帯（1310 nm）およびC帯（1550 nm）における光通信および信号処理にとって望ましいです。これらのニーズに対応するために、TFLNをファウンドリ製造されたシリコンフォトニックウエーブガイドに接合したハイブリッドプラットフォームに基づくマク-ゼンダー（MZ）EOMデバイスを設計および実証しました。単一のシリコンリソグラフィステップと単一の接合ステップを使用して、同じチップ上で両方の波長範囲をカバーするMZ EOMデバイスを実現しました。EOMデバイスは、100 GHzの電気光学帯域幅（1 GHzに参照）と約2-3 V.cmの性能指標（V π L）を達成し、O帯およびC帯の両方で低いオンチップ光損失を有しています。