EPMAおよびFESEMにおける化学状態分析としてのソフトX線発光分光法のエキサイティングな可能性

新しい波長分散型ソフトX線発光分光計（WD-SXES）が開発されました。これは、名目上50 eVから210 eVのX線エネルギー範囲をカバーします 1, 2。WD-SXESの特徴の一つは、信号の並列検出であり、従来のエネルギー分散型分光計のように使用できることです。もう一つの特徴は、約0.2 eVという高エネルギー分解能です。この分解能は、X線光電子分光法または電子エネルギー損失分光法で得られるものと同程度です。この特徴により、高エネルギー分解能で観測されたスペクトルからバルク試料の化学結合に関するさまざまな情報を得ることができます。