調整可能なドーピングレベルと高い電気伝導性を持つ秩序化メソ多孔性Sb、Nb、TaドープSnO2薄膜

本論文では、調整可能なドーピングレベルを持つ自己組織化されたSb、Nb、TaドープSnO(2)薄膜の合成と電気的特性について説明します。これらの透明導電酸化物（TCO）は、ポリエチレンコブチレン-ブポリエチレングリコール二層共重合体および新しいポリイソブチレン-ポリエチレングリコールを有機テンプレートとして使用して調製されました。すべてのサンプルは高い結晶性を持ち、ポリマーテンプレートを焼成によって除去した後に秩序化された立方体の細孔-固体アーキテクチャを有しています。ただし、電気伝導性は同一ではありません。薄膜は、小角および広角X線回折/散乱、SEM/TEMイメージング、X線光電子分光法の組み合わせによって特徴付けられます。メソ多孔性フレームワークで実施された抵抗率測定は、電気特性が結晶性の度合いと元素組成の両方に強く依存することを示しています。薄膜がアンチモンでドープされ、昇温環境下でN(2)処理された場合、電気特性はかなり向上します。このようなTCO材料は、メソ多孔性形態にもかかわらず、密なSbドープSnO(2)薄膜の報告値よりもわずか1桁高い電気抵抗率を示します。