音響用のコンプライアントキャパシティブセンサー：高バイアス電圧における静電気力の回避

動的キャパシティブセンサー構成の研究が紹介されており、これは移動電極に最小限の力と運動抵抗を課すことを目的としています。その目標は、大きなバイアス電圧による引き込み不安定性などの悪影響を受けることなく、任意のコンプライアンスレベルを持つ移動電極の使用を可能にすることです。この構成は、運動への抵抗が最も少ない高いコンプライアンスと薄い電極材料の導入を促進します。このタイプの材料は、特に音を感知するのに有用です。測定結果は、ここで検討された高いコンプライアント音響センサー設計に対して、400ボルトの大きなバイアス電圧を適用してもその運動に影響を与えないことを示しています。音に対する電気的感度は約0.5 V/パスカルであり、典型的な音響センサーの2桁大きいことがわかりました。