液晶格子を用いたプロファイル測定

液晶格子と位相シフト技術を用いたプロファイル測定が提案され、その有効性が実験によって確認されました。物体の表面によって変形された正弦格子の位相分布を測定することによって、表面プロファイルが得られます。液晶格子は、レーザー干渉格子やロンキ格子などの従来の格子と比較して、正確な位相シフト、任意の投影ピッチ、および一定の表面輝度を提供します。したがって、柔軟な測定システムがこれを用いて開発できる可能性があります。異なるピッチの2つの格子を使用して、大きな段差のある物体を測定します。二色投影システムを使用することで、これらの格子を同時に生成することができます。また、液晶格子を使用して投影された格子の色成分を調整することで、表面の局所的に変動する反射率も補償できます。これにより、投影された格子のコントラストを均一に保つことができ、良好なプロファイル測定を実現できます。