薄膜TiON膜の構造、硬度、および密着性に及ぼすAr:N2:O2流量比の影響

本研究では、マグネトロンスパッタリング時における混合ガス組成比（Ar:N2:O2）がTiNxOy薄膜の形態、相組成、および外観特性に及ぼす影響を調査した。0.5から3までの可変N2:O2比を有する5つの異なるモードを使用した。得られたコーティングは、化学組成および相状態の変化と相関して、金色から暗青色までの顕著な色調の違いを示した。走査型電子顕微鏡（SEM）によって観察された薄膜の形態は、緻密な構造から柱状構造まで変化した。これらの結果は、TiONコーティングの特性がN2:O2比を調整することによって制御可能であることを示している。すなわち、窒素リッチな条件は高硬度で耐摩耗性が向上したより緻密なコーティングを促進する一方、バランスのとれたN2:O2比は基板に対するコーティングの密着性を高める。