シリコン非球面光学のためのハイブリッド製造アプローチとプロファイル誤差補正

非球面光学は、軽量、コスト効果、効率性という利点から、多くの光学用途で広く使用されています。しかし、赤外線ベースの用途で使用される非球面光学の質に影響を与える多くの製造上の課題があります。ダイヤモンドターンは、その決定論的アプローチのため、高精度のプロファイルを持つ赤外線非球面レンズの製造に最も適した技術の1つです。しかし、大きなサグ値を持つ光学のためには、最適な表面を作るために複数の加工サイクルが必要です。繰り返しの加工サイクルは、内因性応力を生成し、サブサーフェスの変形と低品質を導きます。本研究では、大量のシリコン赤外線光学の製造のために、円すい仕上げと加工のハイブリッドアプローチが提案されています。提案されたアプローチは、製造時間とサブサーフェス変形を減少させ、表面品質と工具寿命を向上させます。プロファイル誤差 (P t) 補正後のプロファイル精度は0.21 μmであり、表面粗さ (R a)は10.5 nmが達成されました。