バイスタブルバッキルポリマーダイアフラムを持つマイクロバルブ

マイクロ流体システムに使用できるバイスタブルバッキルダイアフラムを持つマイクロバルブが開発されました。バイスタブルダイアフラムは、マイクロバルブの入口を開閉するために使用されます。閉状態でも開状態でも電力消費はなく、バルブは最大470 hPaの入口ガス圧に対してしっかりと閉じています。バルブのケースはPMMAで成形され、ポリイミダーダイアフラムと接着剤で接合されています。接合中の温度処理と機械的負荷、およびPMMAとポリイミダーの異なる熱膨張により、圧縮応力が発生し、ダイアフラムがバッキルします。マイクロバルブの外径は5 mmで、厚さは1 mmです。