白色光を用いた反射面の検査におけるサブナノメートル解像度

高反射面の品質管理には、ナノメートル範囲で表面形状を解決することができる測定方法が必要です。過去には、干渉計や触覚座標測定機に基づくさまざまな方法が開発されてきました。しかし、ほとんどの方法は、環境干渉に対して鈍感な迅速な方法という産業のニーズには合致していません。新たに開発された手法である「フリンジ反射技術（FRT）」は、試験中の表面によるフリンジパターンの反射を利用し、既存の測定方法の課題を克服しています。この方法では、モニターによって直線フリンジのパターンが生成されます。鏡面パターンは、試験中の物体表面を介してカメラによって観察されます。理想的な表面、すなわち数学的に正確な表面に対する表面のいかなる偏差も、パターンの歪みを引き起こします。この歪みは、フリンジプロセッサと呼ばれる画像処理システムによって分析されます。表面のトポロジーは、物体形状に統合したり局所的な曲率を導出したりできる局所表面勾配によって提供されます。システムの解像度は、マイクロメートルからサブナノメートルまでの広い範囲の測定要件に適応可能です。いずれにしても、システムは環境の干渉に対して安定しています。無振動隔離で気候制御のない部屋でも機能します。物体の幾何学に制約のない自由形状の表面を測定することが可能です。高精度工具機械によるダイヤモンド加工で製造されたシリコンミラー表面の測定が一例です。表面形状は1ナノメートル未満の解像度で決定されました。測定結果は干渉計の結果と一致し、特定の領域ではより優れています。