マイクロ/ミニチュア形状記憶合金アクチュエーター

形状記憶合金 (SMA) は、ミクロミニチュアアクチュエーターに大きな可能性を持っています。この実現可能性について議論し、スケール効果に基づく理論的推定を提示します。ミクロミニチュアSMAサーボアクチュエーターの制御方式について議論し、制御方式を提案します。電気抵抗フィードバックと位置フィードバックを組み合わせることで、著者はSMAの硬さを直接制御し、力センサーなしで力を感知することが可能になります。実験的検証が報告されています。ミニチュアSMAアクチュエーターを用いたマイクロエレクトロニクス製造用の位置-力ハイブリッド制御を持つミニチュアクリーングリッパーへの適用が示されています。薄膜マイクロSMAアクチュエーターの製造が研究されています。