誘導結合プラズマ原子放出分光法用の新しいアレイ検出器原子放出分光計の評価

誘導結合プラズマ原子放出分光法（ICP-AES）用のチャージインジェクションデバイス（CID）アレイ検出器技術を採用したユニークなエシェル分光計システムが説明されている。光学設計の改善により、このシステムは以前のシステムに比べて波長範囲が拡大し、光スループットが向上している。シリコンベースの検出器を使用する際に、絶縁体のSiO2層での吸収のために、遠紫外線での感度が低いことが主な欠点とされている。この問題は、波長変換蛍光体の使用により克服された。したがって、商業 instrument のほとんどに匹敵する検出限界が、遠紫外線においても得られている。精度、解像度、背景補正を含む運転パラメータについても論じられている。米国国立標準技術研究所（NIST）の標準参照材料（SRM）1643bの分析により、このシステムは高い精度で少なくとも15種類の元素を31の放出波長を用いて同時に定量できることが示されている。