シリコン/空気ブランキングミラーを用いた統合波導ファブリ・ペロー微小空洞

冷却エッチングされたシリコン/空気分布型ブラッグ反射鏡（DBR）と統合されたシリコン・オン・絶縁体リブ波導を用いた面内マイクロ加工ファブリ・ペロー空洞を実証しました。いくつかのDBR構成と空洞長を測定しました。様々なデバイスは、Q=26963、FWHM=0.060 nm、フィネスF=489、自由スペクトル範囲FSR=81.7 nm、DBRミラーレフレクタンスR=99.4%を示しています。6.7 nmにわたる熱光学調整も実証されました。