이산화티타늄(TiO2) 박막이 물리적 기상 증착 방법으로 실온에서 HV 조건 하에 유리 기판에 증착되었다. 생산된 티타늄 박막은 서로 다른 산소 흐름(0, 9 및 23 cm3/s)에서 573 K에서 후열처리 되었다. 다양한 산소 흐름이 TiO2 박막의 나노구조, 결정학 및 광학적 매개변수에 미치는 영향을 XRD, AFM 및 UV-VIS 파장 범위의 분광광도계를 통해 조사하였다. 다른 광학 매개변수는 반사 곡선에서 크라머-크로닉 계산 방법을 사용하여 계산되었다. XRD 패턴은 TiO2 박막의 아나타제상을 보여준다. 산소 흐름이 증가함에 따라 가시광 범위에서 투명도가 높아졌다. 광학 흡수는 UV에서 근적외선 영역으로 감소하는 것으로 나타났다. n, k, σ1 및 σ2와 같은 다양한 광학 매개변수에 관해 논의되었다.
Kangarlou et al. (화,) 이 질문을 연구하였다.