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유도 가열은 고품질 단일 실리콘 결정 생산에 사용되는 부유존(Floating Zone, FZ) 방법을 포함한 다양한 결정 성장 기술에 필수적입니다. 본 연구에서는 FZ 공정에서의 고주파 유도 가열을 위한 3D 및 2D 축대칭 수치 모델을 오픈 소스 소프트웨어 도구인 Elmer와 OpenFOAM에 구현하였습니다. 이 모델들은 평면 유도체가 주석 막대를 가열하는 모델 실험에서 수행된 현장 측정과 비교 및 검증됩니다. 유도체 주위의 자기 플럭스 밀도 분포는 3D 유도 코일 프로브를 사용하여 측정되며, 막대의 표면 온도는 적외선 카메라를 사용하여 측정됩니다. 두 수치 모델은 실험 데이터와 잘 일치하며, 주로 기하학적 근사와 단순화된 열 모델링으로 인한 편차가 관찰되었습니다. 현재의 측정 설정은 고주파 유도 공정의 다른 수치 모델에 대한 기준점으로 사용할 수 있습니다.
Tsiapkinis 외 (화요일)가 이 질문을 연구했습니다.