Key points are not available for this paper at this time.
초록 질화알루미늄 박막은 펄스 레이저 증착 및 DC 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 제작되었다. 다양한 기술적 파라미터와 질화알루미늄 샘플의 광학적 및 구조적 파라미터에 대한 다양한 기판의 영향을 연구하였다. Si 3 N 4 기판에 증착된 층에 대한 X-ray 회절 연구가 수행되었다. KCl 기판에 증착된 층에 대해서도 고 에너지 전자 회절 연구가 수행되었다. 석영, 사파이어 및 유리 기판에서의 층의 전송 스펙트럼이 얻어졌다. 얻어진 층의 광학 밴드 갭 평가가 수행되었고 (E g 3.81에서 5.81 eV) 굴절률이 계산되었다 (2.58). 필름의 상대 밀도(N1TN-AlN 샘플)는 1.26으로 로렌츠-로렌츠 관계를 사용하여 계산되었다. 질화알루미늄의 층은 다결정 영역이 있는 비정질 특성을 보여준다. AlN 필름의 특성은 방법, 성장 조건 및 사용된 기판에 강하게 의존함이 밝혀졌다.
Virt et al. (금요일,)은 이 문제를 연구하였다.