X선 조사 하에 수소 종단 다이아몬드 MOS 장치의 전기적 특성 열화 메커니즘에 대한 연구

Key Points

• X선 조사는 수소 종단 다이아몬드 MOS 장치의 전기적 특성을 저하시켜 방사선 영향을 나타냄.
• X선 조사에 노출된 후 전기 성능이 유의미하게 감소하는 것을 관찰함.
• 분석은 수소 종단 다이아몬드를 기판으로 사용하는 MOS 장치에서의 열화 메커니즘에 초점을 맞춤.
• 시사점은 X선 방사선에 노출된 전기 장치가 있는 환경에서 보호 조치의 필요성을 강조함.