단결정 루테튬 산화물(Lu2O3)은 높은 열역학적 안정성과 넓은 증폭 대역폭 덕분에 고출력 고체 레이저 응용을 위한 유망한 증폭 매질입니다. 광범위하게 인정받는 이점에도 불구하고, 높은 경도와 화학적 안정성은 낮은 손상과 우수한 매끄러움을 가진 표면을 달성하기 위한 효과적인 가공 전략을 실질적으로 방해합니다. 전통적인 화학 기계 연마는 초정밀 연삭 중에 발생하는 하부 손상(SSD)을 제거하고 고품질 마감을 달성하기 위해 널리 사용되지만, 낮은 가공 효율성은 여전히 중요한 한계로 남아 있습니다. 여기서 유도 결합 플라스마 지원 변형이 단결정 Lu2O3 가공에 처음으로 도입되었으며, 저압 연마와 결합하여 연화된 변형 층을 제거하여 0.61 nm의 조도를 가진 초매끄러운 표면을 얻었습니다. 전반적으로 이 통합 접근 방식은 높은 가공 효율성과 최소한의 가공 유발 손상 간의 균형을 효과적으로 맞추어 초정밀 연삭 후 경질 및 취약 재료에서 SSD 층을 신속하게 제거하는 새로운 접근 방식을 제공합니다.
Liu et al. (화요일,) 이 질문을 연구했습니다.