입자가속기를 이용한 딥 X선 리소그래피는 극한 해상도와 큰 종횡비가 필요한 다양한 과학 및 산업 분야의 주요 기능 구성 요소를 위한 다양한 마이크로 장치 제작에 큰 잠재력을 가지고 있습니다. 이 하드웨어 시스템은 자동차, 전자, 정보 시스템, 에너지 및 환경, 정밀 화학 공학, 의학 및 생물학을 포함한 많은 주요 산업에 영향을 미칩니다. 현황이 분석되며, 유럽과 아시아의 일부 입자가속기에서 산업 LIGA 채널의 해체로 이어진 문제들이 고려됩니다. 러시아 입자가속기에서의 딥 X선 리소그래피에 관한 작업도 논의됩니다.
Stankevich et al. (Mon,)은 이 질문을 연구했습니다.