대단면 실리콘-온-절연체 웨이브가이드와 일체형으로 통합된 고속 Ge 광검출기

우리는 Ge p-i-n 접합이 수평 방향에 배치되어 매우 높은 속도 작동을 가능하게 하는 대단면 실리콘-온-절연체(SOI) 웨이브가이드와 효율적으로 부착된 컴팩트 고속 Ge 광검출기를 시연합니다. 시연된 광검출기는 활성 영역이 0.8×10 μm²에 불과하며, 32 GHz 이상의 광대역폭과 1550 nm 파장에서 1.1 A/W의 감응도를 가지고 있습니다. 매우 중요한 것은 이 장치가 대단면 SOI 웨이브기반의 고성능 파장 분할 다중화 필터와 쉽게 통합되어 다채널 테라비트 데이터 전송 응용을 위한 일체형 실리콘 포토닉 수신기를 형성할 수 있다는 것입니다.