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우리는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 필름에 준비된 c-축 방향성 질화알루미늄(AlN) 박막의 고감도 압전 반응을 조사하였습니다. AlN 필름은 실온에 가까운 온도에서 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 증착되었습니다. AlN 필름의 c 축은 PET 필름 표면에 수직으로 배열되어 있었습니다. AlN과 PET 필름으로 구성된 센서는 PET 필름처럼 유연하며, 전하량은 0부터 8.5MPa까지의 넓은 범위 내에서 응력에 선형적으로 비례합니다. 이 센서는 0.3Hz에서 100Hz 이상까지의 주파수에 반응할 수 있으며, 엄지와 중지를 사이에 두고 센서를 잡았을 때 명확한 인체 맥파 형태를 측정합니다. 펄스 파형의 해상도는 10kPa의 응력 수준에서 혈압계에 버금갑니다. 우리는 센서의 높은 성능의 원인이 디플렉션 효과, AlN층의 얇은 두께와 높은 탄성 계수, 그리고 PET 필름의 얇은 두께와 낮은 탄성 계수 때문이라고 생각합니다.
Akiyama 외. (금요일), 이 질문을 연구하였습니다.