마이크로 리소그래피로 미세 패턴이 인쇄된 탄화텅스텐 금형의 설계 및 제작

코어 제작은 마이크로 광학 부품 제조에 사용되는 유리 성형 공정의 핵심 기술 중 하나입니다. 그러나 캐비티 크기가 매우 작고 배열형 캐비티가 필요한 경우 전통적인 다이아몬드 회전 가공 공정을 사용할 수 없습니다. 본 연구에서는 유리 마이크로 광학 부품 제작에 사용할 수 있는 새로운 코어 제작 방법을 개발했습니다. 먼저, 포토레지스트 리플로우 및 반응 이온 에칭 공정을 사용하여 실리콘으로 마이크로렌즈 배열(개별 렌즈 직경 36–300 µm) 금형 마스터를 제작했습니다. 그런 다음, 실리콘 렌즈 마스터의 형태를 분말 압력 성형 및 소결 공정을 사용하여 탄화텅스텐 코어로 전이했습니다. 표면 품질을 더욱 향상시키기 위해 자성 연마 마감이 수행되었습니다. 제작 공정의 세부 사항은 본 논문에 제시되어 있습니다. 제안된 방법의 특성, 즉 소결 과정에서의 수축과 탄화텅스텐 분말의 입자 크기 및 연마 마감 공정이 표면 품질에 미치는 영향도 논의되었습니다.